Mongobo ke boemo bo tloaelehileng ba taolo ea tikoloho ts'ebetsong ea likamore tse hloekileng. Boleng bo reriloeng ba mongobo o lekanyelitsoeng ka phaposing e hloekileng ea semiconductor bo laoloa hore bo be boemong ba 30 ho isa ho 50%, ho lumella phoso hore e be ka har'a mefuta e moqotetsane ea ± 1%, joalo ka sebaka sa photolithographic - kapa esita le tse nyane sebakeng se hole sa ultraviolet processing (DUV). - Libakeng tse ling, o ka phomola ho isa ho ± 5%.
Hobane mongobo o lekanyelitsoeng o na le lintlha tse 'maloa tse ka tlatsetsang ts'ebetsong ea kakaretso ea kamore e hloekileng, ho kenyelletsa:
● ho hōla ha baktheria;
● Lethathamo la boiketlo boo basebetsi ba bo utloang mochesong oa kamore;
● Tefiso e tsitsitseng e hlaha;
● kutu ea tšepe;
● Ho kokobetsa mouoane oa metsi;
● ho senyeha ha lithography;
● Ho monyela ha metsi.
Likokoana-hloko le lintho tse ling tse silafatsang tsa likokoana-hloko (mouta, livaerase, li-fungus, mites) li ka ikatisa ka matla libakeng tse nang le mongobo o fetang 60%. Limela tse ling li ka hola ha mongobo o lekanyelitsoeng o feta 30%. Ha mongobo o lekanyelitsoeng o le lipakeng tsa 40% le 60%, litlamorao tsa baktheria le mafu a ho hema li ka fokotsoa.
Mongobo o lekanyelitsoeng ho tloha ho 40% ho isa ho 60% le ona ke mofuta o itekanetseng oo ho oona batho ba ikutloang ba phutholohile. Mongobo o feteletseng o ka etsa hore batho ba be le khatello ea maikutlo, athe mongobo o ka tlase ho 30% o ka etsa hore batho ba ikutloe ba omme, ba omeletse, ba sa phutholoha ho hema le maikutlo a sa thabiseng.
Mongobo o phahameng o hlile o fokotsa ho bokella tefiso e tsitsitseng holim'a kamore e hloekileng - sena ke sephetho se lakatsehang. Mongobo o tlase o loketse ho bokella tefiso le mohloli o ka bang kotsi oa ho tsoa ha electrostatic. Ha mongobo o lekanyelitsoeng o feta 50%, tefiso e tsitsitseng e qala ho senyeha ka potlako, empa ha mongobo o lekanyelitsoeng o le ka tlase ho 30%, o ka tšoarella nako e telele ho insulator kapa holim'a metsi a se nang motheo.
Mongobo o lekanyeditsweng o pakeng tsa 35% le 40% e ka ba sekitlane se kgotsofatsang, mme diphaposi tse hlwekileng tsa semiconductor ka tlwaelo di sebedisa ditaolo tse eketsehileng ho fokotsa ho bokellana ha tefiso e sa fetoheng.
Lebelo la liphetoho tse ngata tsa lik'hemik'hale, ho kenyelletsa le ts'ebetso ea kutu, li tla eketseha ha mongobo o lekanyelitsoeng o ntse o eketseha. Libaka tsohle tse pepesehileng moeeng o pota-potileng phaposi e hloekileng li koaheloa ka potlako bonyane ka monolayer e le 'ngoe ea metsi. Ha libaka tsena li entsoe ka tšepe e tšesaane e khonang ho itšoara ka metsi, mongobo o phahameng o ka potlakisa karabelo. Ka lehlohonolo, litšepe tse ling, tse kang aluminium, li ka etsa oxide e sireletsang ka metsi le ho thibela liphetoho tse ling tsa oxidation; empa nyeoe e 'ngoe, e kang koporo ea oxide, ha e sireletse, kahoo Libakeng tsa mongobo o phahameng, libaka tsa koporo li kotsing ea ho bola.
Ho phaella moo, tikolohong e phahameng ea mongobo, photoresist e atolosoa le ho mpefala ka mor'a potoloho ea ho baka ka lebaka la ho monya mongobo. Photoresist adhesion e ka boela ea angoa hampe ke mongobo o phahameng o lekanyelitsoeng; mongobo o tlase o lekanyelitsoeng (hoo e ka bang 30%) o etsa hore ho khomarela photoresist ho be bonolo, esita le ntle le tlhokahalo ea polymeric modifier.
Ho laola mongobo o lekanyelitsoeng ka phaposing e hloekileng ea semiconductor ha se taba e sa reroang. Leha ho le joalo, ha nako e ntse e fetoha, ho molemo ho hlahloba mabaka le metheo ea mekhoa e tloaelehileng, e amohelehang ka kakaretso.
Mongobo o ka 'na oa se ke oa bonahala ka ho khetheha bakeng sa boiketlo ba rona ba batho, empa hangata o na le tšusumetso e kholo mosebetsing oa tlhahiso, haholo-holo moo mongobo o leng holimo,' me mongobo hangata ke oona taolo e mpe ka ho fetisisa, ke ka lebaka leo Ho laola mocheso le mongobo oa kamore e hloekileng, mongobo o khethoa.
Nako ea poso: Sep-01-2020